Quy tắc thiết kế trong ROAD MAP công nghệ bán dẫn là các biện pháp đối phó với ô nhiễm phân tử phải dưới 0,13 μm.
Nitta Đài Loan có công nghệ kỹ thuật cao tiên tiến để sản xuất bộ lọc không khí ít boron, hữu cơ thấp và đã cung cấp sản phẩm này cho nhiều khách hàng tại thị trường Nhật Bản.
Các sản phẩm ít boron và hữu cơ thấp của Đài Loan Nitta đã chứng minh hiệu suất của chúng bằng công nghệ đánh giá ô nhiễm phân tử Nitta của Nhật Bản.
Để ngăn chặn hiệu quả ô nhiễm phân tử trong phòng sạch của thế hệ tiếp theo, nếu các biện pháp đối phó với ô nhiễm boron thấp và phân tử thấp bị bỏ qua, ô nhiễm phân tử sẽ không được loại bỏ.
Các biện pháp đối phó ô nhiễm phân tử Khi yêu cầu môi trường siêu sạch, sự kết hợp của các bộ lọc hóa học, bộ lọc không khí ít boron và ít chất hữu cơ là lựa chọn phù hợp nhất.
1. Loại bộ lọc
2. Dự án
Giảm khí thải hữu cơ từ bộ lọc không khí
Giảm khí thải hữu cơ từ vật liệu
Đánh giá: Đo độ bám dính của chất hữu cơ trên wafer
Giá trị mục tiêu: <1ng/cm2
(theo yêu cầu của khách hàng)
3. Kiểm tra vật liệu bằng không khí bên ngoài
Trang thiết bị
TCT (Ống tiêm thu lạnh hấp phụ nhiệt)
Model CP-4020 GL-Science
Auto-Sampler
Model TMD-253H GL-Science
GC-MS
Model MD-800 Thermo-Quest
điều kiện, tình trạng, trạng thái
Nhiệt độ hấp phụ TCT: 80～150℃,
nhiệt độ phun 10 phút: 250℃
nhiệt độ bắt nguội: -130℃ Ống hình trụ
GC-MS
TC-1 0,25um,
nhiệt độ 60mx0,25mm.40℃, 5 phút—10℃/phút, 280℃, 21 phút giống như Toluene
